请你帮个忙 请教下你真空镀膜机的结构原理?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/01 02:08:08
请你帮个忙 请教下你真空镀膜机的结构原理?

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请你帮个忙 请教下你真空镀膜机的结构原理?
你的问题太泛泛了,真空镀膜机一般包括几个部分:
1. 真空室
2. 抽气系统(各种泵)
3.真空测量系统(真空计)
4.镀膜系统(各种蒸发源及电源)
5.电器控制系统及软件控制系统
6.压缩空气和冷却水及工艺气体分配系统.