作业帮真空镀膜机（真空镀膜设备）如何维护?
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/04/29 08:01:04
真空镀膜机（真空镀膜设备）如何维护?
真空镀膜机（真空镀膜设备）如何维护?
真空镀膜机（真空镀膜设备）如何维护?
真空镀膜设备中的扩散泵连续使用6个月以上,抽速就会明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机.在重新开机前,要注意检漏工作.启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏.检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈.排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态.
真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次.用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁,（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气,再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢.
当真空镀膜机（真空镀膜设备）粗抽泵（滑阀泵,旋片泵）连续工作一个月（雨季减半）,需更换新油.将泵内的旧油完全排放出来.拧回放油螺栓,加入新油至额定量（油视镜观察）.连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢.